Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, Volume Two: Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology

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Produktdetails

Artikelnummer 233473961 Erscheinungsdatum 2026/06/27 Listenpreis €62.07 Modellnummer 233473961
Kategorie
  1. Books
  2. Engineering & Transportation
  3. Engineering
  4. Industrial, Manufacturing & Operational Systems
  5. Manufacturing

Designed for science and engineering students, this text focuses on emerging trends in processes for fabricating MEMS and NEMS devices. The book reviews different forms of lithography, subtractive material removal processes, and additive technologies. Both top-down and bottom-up fabrication processes are exhaustively covered and the merits of the different approaches are compared. Students can use this color volume as a guide to help establish the appropriate fabrication technique for any type of micro- or nano-machine. Read more

ASIN 1420055194
ISBN10 9781420055191
ISBN13 978-1420055191
Edition 1st
Language English
Publisher CRC Press
Dimensions 8.75 x 1 x 11.25 inches
Book 2 of 3 Fundmentals of Microfabrication and Nanotechnology
Item Weight 4.64 pounds
Print length 670 pages
Publication date June 13, 2011

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