Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography (NanoScience and Technology)

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Produktdetails

Artikelnummer 233379654 Erscheinungsdatum 2026/06/27 Listenpreis €29.79 Modellnummer 233379654
Kategorie
  1. Books
  2. Engineering & Transportation
  3. Engineering
  4. Electrical & Electronics
  5. Circuits
  6. Design

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology. Read more

ASIN B07BLPWB1G
XRay Not Enabled
ISBN13 978-3319762944
Edition 1st ed. 2018
Language English
File size 9.4 MB
Page Flip Enabled
Publisher Springer
Word Wise Enabled
Print length 234 pages
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Screen Reader Supported
Publication date March 21, 2018
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